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半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀 |
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型 號(hào):PS-6ND |
品 牌:日本新宇宙 |
技術(shù)指標(biāo):檢測(cè)原理:熱分解,定電位電解式;NF3,CCI4用 |
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慶陽(yáng)半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-PS-6ND-日本新宇宙
功能描述 |
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檢測(cè)原理: |
熱分解,,定電位電解式;NF3,CCI4用 |
采樣方式: |
泵吸引式 |
采樣配管: |
特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm,,配管距離20m以內(nèi);但吸著性強(qiáng)的氣體最大配管距離為5m |
氣體濃度顯示: |
0~9999LED顯示 |
輸出信號(hào): |
用DeviceNet的數(shù)字通信 |
流量低下信號(hào): |
用DeviceNet的數(shù)字通信 |
適合電纜: |
電源用:KW或KW-P2芯;通信:DeviceNet專(zhuān)用電纜 |
使用溫度: |
0℃~40℃ |
消耗電力 |
本機(jī):約15W通信,,約2W |
電源需求 |
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電壓 |
DC24±10% |
物理特性 |
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長(zhǎng)度 |
145mm(突起部分除外) |
寬度 |
37mm |
高度 |
198mm |
重量 |
2.7kg |
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