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GFS™ 提供了一種真正的主質(zhì)量流量標準，并使得低氣體質(zhì)量流速的基本測量真正可行。 · 覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程（10 sccm 到 10 slm N2） · 支持的氣體：無毒性的非腐蝕氣體 · 流量測量不確定度低至 ±0.013% 讀數(shù) · 最大出口壓力：650 kPa 絕壓 · 使用質(zhì)量和時間測量的主要重量原則 · 可以實現(xiàn)自動化的無人管理操作
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GFS 動態(tài)重力質(zhì)量流量校準系統(tǒng)包括所需的電子質(zhì)量天平、封殼和電子儀器，以準確實時測量損耗的 · 已經(jīng)開發(fā)了專用的基于 PC 的軟件程序 (GFSTools™)，，用作儀器的中央控制以及用戶界面。系統(tǒng)會記錄測試輸出下天平和設(shè)備的離散值和平均值，，然后計算結(jié)果并將其顯示為總質(zhì)量和質(zhì)量流量等項。對環(huán)境壓力、溫度和濕度以及平衡偏移的補充測量均由 GFSTools 執(zhí)行。自動測試設(shè)置、數(shù)據(jù)報告和流量控制也由該程序進行處理。
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