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特點(diǎn) 帶有氣體采樣流量自動(dòng)控制功能 LCD顯示,,現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)一目了然 實(shí)現(xiàn)小型、輕量化 可簡(jiǎn)單地更換傳感器和采樣氣路 帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能 可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式 組合對(duì)應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器,,能檢測(cè)NF3等 實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù) 符合CE規(guī)格,,SEMI規(guī)格
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