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GFS™ 提供了一種真正的主質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)，并使得低氣體質(zhì)量流速的基本測(cè)量真正可行。 · 覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程（10 sccm 到 10 slm N2） · 支持的氣體：無毒性的非腐蝕氣體 · 流量測(cè)量不確定度低至 ±0.013% 讀數(shù) · 最大出口壓力：650 kPa 絕壓 · 使用質(zhì)量和時(shí)間測(cè)量的主要重量原則 · 可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的無人管理操作
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