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儀器技術(shù)文章

涂層測厚儀測量偏差的幾種類(lèi)型

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【外凸面的覆層測量】

見(jiàn)圖Fig.6

通常會(huì )顯示正偏差當曲率半徑小于一定值時(shí)偏差會(huì )較為明顯(鐵磁性基材曲率半徑小于20mm時(shí)導電性基材曲率半徑小于50mm時(shí))。


【內凹面的覆層測量】

見(jiàn)圖Fig.7

通常會(huì )顯示負偏差當曲率半徑小于一定值時(shí)偏差會(huì )較為明顯(鐵磁性基材曲率半徑小于25mm時(shí),導電性基材曲率半徑小于50mm時(shí))


【邊緣部分的覆層測量】

見(jiàn)圖Fig.8


通常會(huì )顯示正偏差當A小于5mm時(shí)偏差會(huì )較為明顯。


【靠近側壁的覆層測量】

見(jiàn)圖Fig.9


通常會(huì )顯示負偏差當A小于5mm時(shí)偏差會(huì )較為明顯。


【凹槽底部的覆層測量】

見(jiàn)圖Fig.10

通常會(huì )顯示負偏差當D小于20mm時(shí)偏差會(huì )較為明顯。


極薄基材上的覆層測量見(jiàn)圖Fig.11

對于鐵磁性基材通常會(huì )顯示正偏差對于導電性基材通常會(huì )顯示負偏差。當T小于0.6mm時(shí)偏差會(huì )較為明顯。當T小于0.1mm(鐵磁性基材)或者是小于0.01mm(導電性基材)無(wú)論是否校準測量都不能實(shí)現。


【噴丸表面上覆層的測量】

見(jiàn)圖Fig.16

a對于Rz值小于20μm的噴丸面上的覆層測量。先在無(wú)覆層的基材上面測量十次進(jìn)行較零接著(zhù)將涂層試片覆蓋其上測量五次進(jìn)行校正則測量校準完成需要記住的是即便完成了測量校準在實(shí)際測量中仍然必須多次測量取平均值。

b對于Rz值大于20μm的噴丸面上的覆層測量。此時(shí)的情況較為復雜需要先在同樣材質(zhì)的具有光滑表面(未噴丸處理)的基材上進(jìn)行校準接著(zhù)在無(wú)覆層的噴丸表面上進(jìn)行測量十次取平均值然后再再實(shí)際工件的覆層上同樣進(jìn)行十次測量再取平均值這兩個(gè)平均值之差的絕對值就是覆層厚度。



“軟”覆層的測量

某些覆層質(zhì)地比較軟、比較疏松探頭接觸上之后可能會(huì )有微小的凹坑從而影響測量。此時(shí)可以將一個(gè)確知厚度的涂層試片覆蓋其上然后將探頭放在這層試片上得出值減去涂層試片的值即是覆層厚度值。提示:使用30~50μm的涂層試片較為合適。


“熱”覆層的測量

某些情況下不待完全冷卻就需要對覆層進(jìn)行測量。此時(shí)的溫度通常超過(guò)60℃一方面熱量會(huì )傳導給探頭的樹(shù)脂支撐環(huán)我們知道支撐環(huán)里面有線(xiàn)圈或磁芯而它們所產(chǎn)生的感應場(chǎng)會(huì )因為過(guò)高的溫度產(chǎn)生變化;另一方面我們同樣知道基材本身的磁場(chǎng)和電渦流場(chǎng)也會(huì )因為溫度的過(guò)高變化而產(chǎn)生細微的畸變。

因此在這種情況下我們要解決兩個(gè)問(wèn)題:一是盡量降低熱量的傳導這里我們可以用到高溫護墊,將其安裝在探頭上;二是需要更敏感的探頭以便辨析溫度帶來(lái)的基材本身的磁場(chǎng)或電渦流場(chǎng)的畸變。當然,表面粗糙度儀這往往意味著(zhù)儀器需要提供更高的精度。


介紹一種簡(jiǎn)單可靠的應用(以外凸面為例)

先在無(wú)覆蓋層的外凸面工件進(jìn)行測量按理本應顯示為零但從以上的介紹可知很可能讀值并不為零而是正偏差的某個(gè)數此時(shí)并非必須較零(重要的事情說(shuō)三遍)否則強行較零可能使儀器出廠(chǎng)時(shí)校正的參照曲線(xiàn)嚴重偏移、或者干脆無(wú)法較到零位。

在此情況下只需記下這個(gè)正偏差值然后測量實(shí)際覆層將取得的讀值減去這個(gè)正偏差值即為覆層的實(shí)際讀值。

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